Polysilizium-Heaterstrukturen für den Einsatz in hochbeschleunigten Zuverlässigkeitstests auf Waferebene
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ISBN/EAN:
9783656276203
Bachelorarbeit aus dem Jahr 2011 im Fachbereich Elektrotechnik, Note: 1, Hochschule Mittweida (FH) (Elektro- und Informationstechnik), Sprache: Deutsch, Abstract: Diese Bachelorarbeit soll die Grundlage für hochbeschleunigte Zuverlässigkeitstests auf Waferebene unter Verwendung von In-Situ-Heizelementen aus polykristallinem Silizium bilden. Nach einer Einführung in die Zuverlässigkeitstheorie wird eine Auswahl an Zuverlässigkeitstest vorgestellt. Diese sind momentan, durch den Einsatz von Hot-Chuck's, noch recht zeitaufwändig und verlangen daher nach einer alternativen Wärmequelle. Der in dieser Arbeit vorgestellte Ausweg beschreibt einen Polysilizium-Widerstand direkt in der zu beheizenden Struktur. Weiterhin wird die Wärmeausbreitung durch thermische Simulationen dargestellt. Am Ende dieser Arbeit wird noch die mögliche Temperaturmessung an solchen Teststrukturen vorgestellt.
| Autor: | David Weinberger |
|---|---|
| EAN: | 9783656276203 |
| eBook Format: | |
| Sprache: | Deutsch |
| Produktart: | eBook |
| Veröffentlichungsdatum: | 20.09.2012 |
| Kategorie: | |
| Schlagworte: | Halbleiter Halbleiterstrukturen Heater Polysilizium Silizium Simulation Wafer Zuverlässigkeit |
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